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ASTM F950-2002 用角抛光和疵点侵蚀加工法测量机械加工硅片表面晶体损坏深度的标准试验方法

作者:标准资料网 时间:2024-05-28 02:08:34  浏览:8038   来源:标准资料网
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【英文标准名称】:StandardTestMethodforMeasuringtheDepthofCrystalDamageofaMechanicallyWorkedSiliconSliceSurfacebyAnglePolishingandDefectEtching
【原文标准名称】:用角抛光和疵点侵蚀加工法测量机械加工硅片表面晶体损坏深度的标准试验方法
【标准号】:ASTMF950-2002
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:2002
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.06
【标准类型】:(TestMethod)
【标准水平】:()
【中文主题词】:损伤;电子工程;表面;测量;蚀刻;深度;硅;垫圈;晶体缺陷;抛光
【英文主题词】:bevelpolish;damage-depth;defect;preferentialetch;silicon
【摘要】:ThisstandardwastransferredtoSEMI(www.semi.org)May20031.1Thistestmethoddescribesatechniquetomeasurethedepthofdamage,onorbeneaththesurfaceofsiliconwaferspriortoanyheattreatmentofthewafer.Suchdamageresultsfro
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:6P.;A4
【正文语种】:


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【英文标准名称】:Methodsforchemicalanalysisofrefractoriescontainingcarbonand/orsilicon-carbide
【原文标准名称】:含碳和/或碳化硅的耐火材料的化学分析方法
【标准号】:JISR2011-1998
【标准状态】:作废
【国别】:日本
【发布日期】:1998-08-20
【实施或试行日期】:
【发布单位】:日本工业标准调查会(JISC)
【起草单位】:TechnicalCommitteeonCeramics
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:化学分析和试验;耐火材料;碳;碳化物;硅无机化合物
【英文主题词】:refractorieschemicalanalysisandtesting
【摘要】:
【中国标准分类号】:Q44
【国际标准分类号】:81_080
【页数】:45P;A4
【正文语种】:日语


【英文标准名称】:Strengthofbodyandhydraulicpressurelosstestingofbackflowspecialcheckvalves
【原文标准名称】:回流专用止回阀的阀身强度和液压损失率检验
【标准号】:UL1469-1995
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:1995-05
【实施或试行日期】:1996-05-01
【发布单位】:美国保险商实验所(UL)
【起草单位】:UL
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:管道;规范(验收);止回阀;防火;管系统;阀门;水压;试验;输水管道;压力降;材料强度;设计
【英文主题词】:Checkvalves;Design;Fireprotection;Hydraulicpressure;Pipelines;Pipingsystem;Pressuredrops;Specification(approval);Strengthofmaterials;Testing;Valves;Waterpipelines
【摘要】:
【中国标准分类号】:J16
【国际标准分类号】:23_100_40
【页数】:9P;A4
【正文语种】:英语